飞行时间二次离子质谱（time-of-flight secondary ion mass spectrometry, TOF-SIMS）采用一次脉冲离子入射材料表面，通过飞行时间质量分析器测试表面被激发出的二次离子，来表征样品表面的元素成分和分子结构信息。TOF-SIMS具有超高表面灵敏度（~ 1 nm）和检测灵敏度（ppm-ppb级），以及极佳的质量分辨率和空间分辨率，可以检测包括H在内的所有元素和同位素，还可以提供膜层结构深度信息和三维重构（3D）信息，这些优势使得TOF-SIMS成为重要的表面分析技术。

可做项目：质谱、面扫、深度剖析。

TOF-SIMS的数据的纵坐标是计数，是强度，不同离子的产额不同，产额高的谱峰强，并不代表含量高，简单说就是强度和含量没有什么直接关系；

1、质谱+分析

质谱测试：只给出校正后的图片和TXT数据。

质谱+数据处理：会给出校正后的图片和所有的离子谱峰归属列表。

2、面扫+分析

导出客户指定离子的 MAPPING, 所有离子统一用Thermal 颜色:右边的色标可以看出黑色是分布没有的区域，黄色白色是分布较多的区域；

3、深度剖析+数据分析

仪器型号1：TOF-SIMS 5 iontof--快递交替模式--深度剖析

深度曲线-相对应的3D图

仪器型号2：PHI Nanotof

深度剖析一般是块体样品；粉末一般做质谱或者面扫，液体，生物细胞等样品可以冷冻干燥后测试，设备无法直接测试液体样品。