X射线入射样品的表面，可以激发出轨道芯能级中的电子，叫做光电子, 基于爱因斯坦的光电发射理论，遵循能量守恒公式：入射源的能量等于光电子的动能和结合能之和，不同元素不同轨道岀射的光电子具有不同的特征结合能信息，因此可以用结合能的数值来表征不同的元素和化学态信息。

XPS测试注意事项

1、XPS可以做的项目：常规全谱窄谱测试、俄歇谱、价带谱、深度溅射、MAPPING、角分辨；

2、XPS测试的元素范围是Li-Cm，H、He元素不能测试，放射性元素请提前沟通；

3、XPS数据分析可以等到元素的价态及半定量数据。原子百分含量小于5%的元素可能测不出明显信号；

4、无特殊说明，默认是使用单色化AlKa源（Mono AlKa）能量是1486.6eV；

5、使用Al Kα X-ray会出现的重叠谱峰，当有重叠谱峰的时候直接定量的结果不能参考。下方是常见的一些重叠谱峰的情况，解决方法是a.通过分峰拟合（这个是数据分析的内容）后再重新定量，b.测试其他轨道的峰，需要备注相应的轨道，默认是测试最强峰，c.如果是与部分元素的俄歇峰重叠，建议可以更换靶材试试，比如Mg靶。常见重叠谱峰有Li1s&Co3p；B1s&P2s；C1s&Ru3d5/2,Ru3d3/2；C1s&K2p；O1s&NaKLL；O1s&Pd3p3/2；O1s&Sb3d5/2；N1s&Mo3p3/2；N1s&GaLMM；Al2p&Pt4f5/2；Si2p&Pt5s；Mo3d5/2&S2s；Ta4f&O2s；Co2p&FeLMM；Mn2p&NiLMM；W4f&Zr4p；Al2p&Cu3p。

1.尺寸要求：块状/片状/薄膜：长宽厚不超出0.5cm ×  0.5cm × 0.3 cm（磁性样品尽量小）（对块状样品或薄膜样品的测试面做好标记）；粉末样品大于200目，不少于10mg，量少请用称量纸包好再装到管子里寄送。请勿用手触摸样品表面，会引入污染。制好样后请尽快密封，避免其他物质污染；

2.送样前样品需充分干燥，否则影响仪器真空度。高分子样品在送样前应进行干燥处理。若含有高挥发性分子等请务必烘烤；

3.样品含有硫或碘等卤族元素请务必填写或者提前告知，避免污染高真空系统；

4.样品在超高真空及在X射线、紫外线、电子束或Ar离子束照射下应稳定，不分解、不释放气体。